上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司成立于2020年，是国家集成电路装备材料产业创新中心的建设主体。创新中心位于上海嘉定工业区，将建成净化面积超过15000平方米、国内***集智能制造和研发为一体的集成电路AI Fab，为集成电路先进装备和材料发展提供共性技术研发和规模化验证平台。