中国电子科技集团公司第四十五研究所（简称45所）组建于1958年，隶属于中国电子科技集团有限公司，坐落于北京经济技术开发区。是以光学微细加工、微纳米制造与系统自动化为专业方向的国家专用电子制造装备研制生产的骨干研究所。2013年中国电子科技集团公司2所、45所、48所整合成立中电科电子装备集团有限公司。45所现有职工1300余人，专业技术人员500余人。“十二五”以来，45所共承担各类科研项目48项，完成国家02专项CMP项目、共性支撑等35个项目验收，取得科技成果36项，其中国际先进水平5项，国内领先水平28项，申请发明专利209项，授权发明专利117项。
